行星减速机齿轮在传动过程中，接触面上各点的接触应力呈现脉动循环变化，经过一段时间就会由于接触面上的金属疲劳产生裂纹，裂纹发生扩展就会使得金属剥落，形成点蚀。这种情况的防止可以通过提高齿面硬度，降低表面粗糙度等措施实现。

在高速、重载或润滑失效的情况下，齿轮表面将形成局部高温，接触面将被胶合。这种情况称为胶合。为了防止胶合，应提高齿轮表面的硬度和光滑度。对于不同类型的齿轮，应采用不同的钢种，正确选用润滑油是减轻齿轮失效的重要措施。

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